SDS供液系統(tǒng)：為CeO2研磨液供應(yīng)設(shè)備，主要用于對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的CMP機(jī)臺(tái)進(jìn)行供液，各過程均為全自動(dòng)控制，有效減少人工，高效快捷，均可實(shí)現(xiàn)可視化管理和人機(jī)界面控制。

CDS供液系統(tǒng)：為HF酸溶液稀釋及供應(yīng)設(shè)備，主要用于清洗機(jī)臺(tái)的供液，各過程均為全自動(dòng)控制，有效減少人工，高效快捷，均可實(shí)現(xiàn)可視化管理和人機(jī)界面控制。